Nikl-nióbové terče sú rozprašovacie terče vyrobené tavením niklu (Ni) a nióbu (Nb) ako hlavných prvkov v určitom pomere. Používajú sa najmä pri procesoch fyzikálnej depozície z plynnej fázy (PVD), najmä magnetrónovom naprašovaní, na prípravu funkčných tenkých vrstiev na rôznych substrátoch.
Spôsob prípravy terčov zo zliatiny niklu-nióbu
1. Príprava surovín: Ako suroviny vyberte niklové a nióbové prášky s vysokou{1}}čistotou, pričom zaistite, aby ich čistota spĺňala cieľové požiadavky na prípravu. Napríklad čistota práškov niklu a nióbu môže dosiahnuť viac ako 99,9 %.
2. Miešanie prášku: Presne odvážte niklový a nióbový prášok podľa navrhnutého pomeru zloženia zliatiny a dôkladne ich premiešajte v miešacom zariadení. Na zabezpečenie rovnomerného miešania je možné použiť guľové mletie s riadením vhodného času mletia a pomeru guľôčok k -materiálu.
3. Lisovanie: Rovnomerne premiešané prášky sa umiestnia do formy a lisujú pomocou izostatického lisovania za studena (CIP) alebo izostatického lisovania za horúca (HIP), čím sa získa cieľový polotovar s určitou hustotou a pevnosťou. Izostatické lisovanie za studena (CIP) umožňuje počiatočné zhutnenie prášku pri relatívne nízkom tlaku, zatiaľ čo HIP ďalej zvyšuje hustotu cieľového polotovaru pri vysokej teplote a vysokom tlaku.
4. Spekanie: Vylisovaný polotovar terča sa speká vo vákuovej peci, aby sa odstránili póry medzi časticami prášku a zlepšila sa hustota a výkon terča. Teplota a čas spekania sú kľúčové parametre. Teploty spekania sa zvyčajne pohybujú od 1000 stupňov do 1500 stupňov a časy spekania sa pohybujú od niekoľkých hodín do niekoľkých desiatok hodín. Optimalizácia závisí od zloženia a veľkosti cieľa.
5. Obrábanie: Po spekaní si cieľ vyžaduje opracovanie, ako je sústruženie a brúsenie, aby sa dosiahli požadované rozmery a povrchová úprava.
Aplikácie terčov zo zliatiny niklu{0}}nibia
Polovodiče: Môžu sa použiť na naprašovanie na vytvorenie bariérových vrstiev, elektród a prepojení. Tenké filmy zo zliatiny niklu-nibium účinne zabraňujú difúzii kovových atómov, zlepšujú výkon a spoľahlivosť polovodičových zariadení a sú kľúčové pre výrobu integrovaných obvodov.
Technológia displeja: V plochých-panelových displejoch, ako sú OLED a displeje z tekutých kryštálov, možno terčíky zo zliatiny niklu-nibia použiť na vytvorenie elektród alebo reflexných vrstiev, čo pomáha zlepšiť jas obrazovky, rýchlosť odozvy a stabilitu farieb.
Optické povlaky: Možno ich použiť na vytváranie rôznych optických povlakov, ako sú napríklad infračervené reflexné filmy a filmy odolné proti laserovému{0}} poškodeniu, pre aplikácie v presných optických zariadeniach, laserových systémoch a optických prístrojoch, aby sa splnili rôzne požiadavky na optický výkon.
Povlak odolný proti-opotrebeniu a korózii-: Vďaka vynikajúcej odolnosti voči opotrebovaniu a korózii možno terčíky zo zliatiny niklu-nibium použiť na vytváranie tenkých vrstiev odolných voči opotrebovaniu- a korózii- na mechanických častiach a povrchoch nástrojov, čím sa predlžuje životnosť a výkon komponentov. Majú široké uplatnenie v odvetviach, ako je letecký priemysel, výroba automobilov a obrábanie.
