Komponenty z ťažkej zliatiny volfrámu (WHA) pre iónovú implantáciu
Vo všeobecnosti sú volfrám a molybdén rozhodujúcimi materiálmi pre komponenty používané v systémoch implantácie iónov, najmä v dráhe lúča. Tieto materiály sú vybrané pre svoju schopnosť odolávať drsným podmienkam implantácie iónov, vrátane vysokých teplôt, silných magnetických polí a agresívnych procesných plynov.
Prečo volfrám a molybdén?
Vysoké teploty topenia:
Volfrám aj molybdén majú veľmi vysoké teploty topenia, čo im umožňuje vydržať extrémne teploty vznikajúce počas implantácie iónov.
Odolnosť proti korózii:
Vykazujú vynikajúcu odolnosť proti korózii, ktorá je životne dôležitá, keď sú vystavené reaktívnym plynom a vedľajším produktom procesu implantácie iónov.
Vysoká pevnosť a tepelná vodivosť:
Tieto vlastnosti sú nevyhnutné pre zachovanie štrukturálnej integrity komponentov a efektívne odvádzanie tepla počas prevádzky.
Vysoká čistota:
Vysoko čisté materiály minimalizujú kontamináciu iónového lúča a implantovaného materiálu.
Typické komponenty iónovej implantácie vyrobené z volfrámu a molybdénu:
komory:
Vákuové komory, v ktorých je umiestnený zdroj iónov a cieľová oblasť, sú často vyrobené z volfrámu, molybdénu alebo ich zliatin.
Vlákna:
V iónových zdrojoch sa na generovanie plazmy, z ktorej sa extrahujú ióny, používajú vlákna vyrobené z volfrámu alebo zliatin volfrámu.
Oblúkové štrbiny:
Tieto komponenty pomáhajú tvarovať a smerovať iónový lúč a často sú vyrobené z volfrámu alebo molybdénu.
Držiaky a katódy:
Z týchto žiaruvzdorných kovov sú vyrobené rôzne držiaky a katódy v rámci iónového zdroja a dráhy lúča.
Náhradné diely:
Volfrámové a molybdénové komponenty sa používajú aj na rôzne náhradné diely a náhrady v rámci implantátora.
Komponenty Beamline:
Komponenty v rámci lúča, ako sú obmedzovače lúča a otvory, môžu byť tiež vyrobené z volfrámu alebo molybdénu.
Príklady spoločností, ktoré poskytujú komponenty iónovej implantácie:
Ťažké zliatiny volfrámu (WHA), najmä kompozície W-Ni-Fe a W-Ni-Cu, sa však široko používajú v systémoch implantácie iónov vďaka svojej výnimočnej hustote, vlastnostiam tienenia žiarenia a tepelnej stabilite. Tieto zliatiny sú ideálne pre komponenty vyžadujúce vysokú hmotnosť, trvanlivosť a odolnosť voči bombardovaniu iónmi.
Kľúčové vlastnosti pre aplikácie iónovej implantácie
✔ Vysoká hustota (17-18,5 g/cm³) – Účinná na blokovanie rozptylu iónov a zlepšenie ovládania lúča.
✔ Vynikajúce tienenie pred žiarením – Minimalizuje emisie röntgenových lúčov a sekundárnych elektrónov.
✔ Vysoký bod topenia a tepelná stabilita – Odoláva vysoko{0}}energetickému bombardovaniu iónmi bez deformácie.
✔ Dobrá opracovateľnosť – Dá sa presne-obrábať do zložitých tvarov (v porovnaní s čistým volfrámom).
✔ Nízke odplyňovanie – kritické pre udržanie podmienok vysokého vákua v iónových implantátoroch.
Bežné WHA komponenty pri iónovej implantácii
Zarážky a otvory lúčov – Ovláda a tvaruje iónové lúče.
Faradayove poháre – presne meria prúd iónového lúča.
Tieniace bloky a kolimátory – Znižuje nežiaduci rozptyl iónov.
Komponenty na manipuláciu s plátkami – Odolné diely na spracovanie polovodičov.
Komponenty izolátora – Vysoká dielektrická pevnosť tam, kde je to potrebné.
Prečo zvoliť WHA pred čistým volfrámom?
Lepšia opracovateľnosť (vďaka spojivovej fáze Ni/Fe/Cu).
Vyššia lomová húževnatosť (menej krehká ako čistý W).
Cenovo-efektívne pre zložité geometrie.
Dostupné stupne a prispôsobenie
Štandardné triedy: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Vlastné zloženie a rozmery (tyče, dosky, opracované diely)
Povrchové úpravy: Leštené, brúsené alebo potiahnuté pre lepší výkon.
Ak máte nejaké potenciálne otázky, kontaktujte nás: info@yitechtrading.com